Фильтр МКФ-280

Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143);
Температура, ° С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход
От 20 нм3/ч (330 нл/мин) до 40 нм3/ч (660 нл/мин).
Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях
6 атм (86 psi).

Степень очистки
Не менее 99.9999999 % для частиц размером более 0.01 мкм.

Чистота газа после фильтра
Концентрация частиц размером более 0.01 мкм - менее 0.03 частиц/литр;
концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная негерметичность корпуса
Не более 1· 10-3 лЧ мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10+ 0.5) атм [(143+ 7.1) psi] и температуре (25+ 10) ° С.

Применяемые материалы
Фильтрующий элемент - никель.
Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.
Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование.
Чистота обработки 0.63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0.13 Ra).
Площадь фильтрующей поверхности 280 см2.

Подготовка к работе
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 ° С;
относительная влажность - не более 90 %;
пространственная ориентация - произвольная.

Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года.
Примечание. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 ° К.

Нет