Просмотров: 757 Размещено: 20.06.2019
Вакуумная установка магнетронного напыления, БУК-75
В наличии Новое
Код товара: 77774
Страна-производитель: ФРГ
Цена 750 000 руб
Адрес:
Москва, 109052, Нижегородская ул., д. 70, корп. 2
Показать телефон
+7(916) XXX-XX-XX Пожаловаться
сделка
Описание
• Магнетрон круглый с мишенью ф50 мм – 1 шт
• косвенное охлаждение мишени
• сбалансированная магнитная система
• Магнетрон эллиптический с мишенью 50*450 мм – 1 шт
• косвенное охлаждение мишени
• сбалансированная магнитная система
• Блок питания магнетрона
1 шт - Блок питания постоянного тока 0,4 кВт.
• Откачная система
Турбомолекулярный насос
• Форвакуумный насос
• Дополнительное оборудование
• Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
подача потенциала смещения на подложкодержатель
планетарный механизм на 3 планеты по 5 см
• Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр
• Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин,
3 регулятора расхода газа
• Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
•Система управления
• полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)
Связаться с продавцом
Технические характеристики
Вакуумная камера
• размер ф50х60 см
• Цилиндрическая форма
• крышка верхняя
• вакуумные окна ф50 мм
• нержавеющая сталь, электрополировка внутренних поверхностей камеры
• съёмные экраны из нержавеющей стали внутри камеры
• установлена на раме из нержавеющей стали с талью для подъёма крышки
• водоохлаждаемая камера
• набор внутрикамерных устройств (токовводы, устройства позиционирования и т.п.)
Лицензии и сертификаты
Нет
Доставка и оплата
Об оборудовании “Вакуумная установка магнетронного напыления” пока нет отзывов :(
Хотите оставить?
Нет вопросов.