Система измерения толщин тонких пленок эллипсометр, Elli-SE

Спектральный эллипсометр (SE) является отраслевым стандартом для определения характеристик сложных, многослойных пленок, используется всей полупроводниковой промышленностью и производителями топ-дисплеев. Это мощная и надежная оптическая технология позволяет получать информацию об амплитудных и фазовых изменениях в широком спектральном диапазоне. Эллипсометрия является единственной уникальной технологией, позволяющей измерять толщину и показатель преломления (RI) независимо и одновременно без ссылки на однослойную пленку. Кроме того, глубинное профилирование сложных многослойных слоев пленки стало слишкой рутинной процедурой анализа модели SE. Эллипсометрические измерения свойств тонких пленок, проводящиеся в широком спектральном диапазоне, позволяют определять оптические свойства многих сложных пленок, в том числе новых пленок, например, OLED пленки, антибликовые покрытия, солнечные ячейки и пленки с низкими и высокими значениями оптических констант и т.д. Особенности: - Простота работы и быстрое измерение - Безконтактное и неразрушающее измерение - Высокая повторяемость - Двух- и трех-мерное отображение карты данных - Измерение мультислоев Применение 1. Полупроводники Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N4 2. Дисплеи (в т.ч. OLED) MgO, ITO, PR, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2, ONO 3. Диэлектрики SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, водные окислы 4. Полимеры красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR 5. Химия органические пленки (OLED) и LB тонкие пленки 6. Солнечные элементы SiN, a-Si, поли-Si, SiO2, Al2O3 Опции: УФ система - Спектральный диапазон 220 нм ~ 1000 нм - Источник света: Дейтериевая и галогеновая лампы Система построения изображения - ПЗС камера и видеомонитор Автоматическое картирование - R- θ, X-Y подвижный столик - Размеры столика 200мм и 300 мм Высоко скоростное измерение - 1.5 с на точку (зависит от типа пленки) Структура эллипсометра Источник света: Вольфрамовая галогеновая лампа (380 нм ~1,500 нм), система коллимирующих линз Размер светового пучка: Стандартно ≥ 1.5 мм Модуль поляризатора: коллимационная оптическая система, кристалл единичного поляризатора (215 – 1,000 нм), вращающийся поляризатор: блок управления микрошаговым двигателем Модуль анализатора: коллимационная оптическая система, кристалл единичного поляризатора (215 – 1,000 нм), вращающийся поляризатор: блок управления микрошаговым двигателем Спектрограф: Диапазон длин волн: 200 нм ~ 1,000 нм (ПЗС тип), разрешающая способность: 1.5 нм Угол падения: Регулируемый вручную угол падения в диапазоне 60˚~ 90˚ (шаг 5˚) Эллипсометрические углы Пси: диапазон 0˚ ~ 90˚ Повторяемость,
Связаться с продавцом