Автоматизированная вакуумная установка двустороннего магнетронного напыления, Carolina D12B2

становка обеспечивает: очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока (при необходимости два ионных источника изнутри и снаружи барабана); нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу; отпыливание мишени любого из одного - восьми магнетронов на управляемую заслонку; вертикальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся барабане; автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума; автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени; контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля; размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки. Вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства загрузки-выгрузки носителей. Для обслуживания камеры она поднимается над плитой-основанием с помощью гидроподъемника. Установка в предельном варианте комплектации имеет два комплекта блоков питания магнетрона и ионного источника и блок подачи смещения на барабан-подложкодержатель. Возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры. Возможно применение планетарного механизма вращения цилиндрических подложек (ось вращения вертикальная) с диаметром изделий до 100 мм.