Просмотров: 2693

  • Автоматизированная вакуумная установка двустороннего магнетронного напыления

Автоматизированная вакуумная установка двустороннего магнетронного напыления, Carolina D12B2

В наличии

Код товара: 32066

Страна-производитель: ООО "ЭСТО-Вакуум"

Назначение: Вакуумно-технологическапя установка Carolina D12B2 предназанчена для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм) подложки размером до 150 мм диаметром (максимальная плоскость обрабатываемых изделий 150х350 мм). Установка комплектуется для распыления любых материалов, например резистивные сплавы, Cu, Cr, Al и т.п.

Состояние: Новое

Город: Москва

Цена договорная Показать телефон
4(997) XXX-XX-XX
Купить Пожаловаться
Описание

становка обеспечивает: очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока (при необходимости два ионных источника изнутри и снаружи барабана); нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу; отпыливание мишени любого из одного - восьми магнетронов на управляемую заслонку; вертикальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся барабане; автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума; автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени; контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля; размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки. Вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства загрузки-выгрузки носителей. Для обслуживания камеры она поднимается над плитой-основанием с помощью гидроподъемника. Установка в предельном варианте комплектации имеет два комплекта блоков питания магнетрона и ионного источника и блок подачи смещения на барабан-подложкодержатель. Возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры. Возможно применение планетарного механизма вращения цилиндрических подложек (ось вращения вертикальная) с диаметром изделий до 100 мм.


Связаться с продавцом

Нет

Лицензии и сертификаты

    Нет

Связаться с продавцом
Доставка и оплата

информация не указана

Связаться с продавцом
Отзывы

О компании “ЭСТО-Вакуум” пока нет отзывов :(

Хотите оставить?

Вопросы-ответы

Нет вопросов.

Задать вопрос