Автоматизированные вакуумные установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления, Carolina D12A1

УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ: - напыление резистивных пленок из материалов типа РС–3710; РС–5406; РС–1004 и т.д.; - пленок титана, нитрида или окиси титана; нитрида тантала; - алюминия толщиной до 15 мкм., меди толщиной до 15 мкм.; - двуокиси кремния и нитрида кремния из кремниевой мишени - очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока; - нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; - стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу; - отпыливание мишени любого из одного – четырех магнетронов на управляемую заслонку; - горизонтальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся диске; - автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума; - автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени; - контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля, а также по кварцевому измерителю толщины и т.д.; - размещение изделий на легко снимаемой сменной карусели с целью сокращения времени загрузки и выгрузки; - возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры.