Просмотров: 2302

  • Автоматизированные вакуумные установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления

Автоматизированные вакуумные установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления, Carolina D12A1

В наличии

Код товара: 32063

Страна-производитель: OOO "ЭСТО-Вакуeм"

Назначение: Вакуумная-технологическая установка "Carolina D12A1" предназначена для магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления на керамические, кремниевые, ситаловые и другие плоские (толщина не более 30 мм) подложки диаметром до 100 мм. Мишени на магнетронах располагаются горизонтально. Установка может быть укомплектована любым набором технологических устройств на пяти рабочих позициях: магнетрон, источник ионов (для предварительной очистки и травления ионов), термический испаритель и устройство ионного распыления (занимает две позиции)

Состояние: Новое

Город: Москва

Цена договорная Показать телефон
4(997) XXX-XX-XX
Заказать Пожаловаться
Описание

УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ: - напыление резистивных пленок из материалов типа РС–3710; РС–5406; РС–1004 и т.д.; - пленок титана, нитрида или окиси титана; нитрида тантала; - алюминия толщиной до 15 мкм., меди толщиной до 15 мкм.; - двуокиси кремния и нитрида кремния из кремниевой мишени - очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока; - нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; - стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу; - отпыливание мишени любого из одного – четырех магнетронов на управляемую заслонку; - горизонтальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся диске; - автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума; - автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени; - контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля, а также по кварцевому измерителю толщины и т.д.; - размещение изделий на легко снимаемой сменной карусели с целью сокращения времени загрузки и выгрузки; - возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры.


Связаться с продавцом

Нет

Лицензии и сертификаты

    Нет

Связаться с продавцом
Доставка и оплата

информация не указана

Связаться с продавцом
Отзывы

О компании “ЭСТО-Вакуум” пока нет отзывов :(

Хотите оставить?

Вопросы-ответы

Нет вопросов.

Задать вопрос