Фильтр МКФ-10

Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143)
температура, ° С - от 5 до 50
Рекомендуемый расход
До 3 нм3/ч (50 нл/мин)
Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях
6 атм (86 psi)

Степень очистки
Не менее 99.9999999 % для частиц размером более 0.01 мкм

Чистота газа после фильтра:
Концентрация частиц размером более 0.01 км - менее 0.03 частиц/литр
Концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10ppb

Локальная негерметичность корпуса
Не более 1· 10-3 лЧ мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10+ 0.5) атм [(143+ 7.1) psi] и температуре (25+ 10) ° С

Применяемые материалы
Фильтрующий элемент - никель
Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика
Обработка внутренних поверхностей корпуса

Электрохимическое полирование.
Чистота обработки 0.63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0.13 Ra)
Площадь фильтрующей поверхности 10 см2

Подготовка к работе
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100

Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом

Условия эксплуатации:
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 ° С
Относительная влажность - не более 90 %
Пространственная ориентация - произвольная

Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года

Примечание. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 ° К.

Нет