Спектроскопический рефлектометр с малым размером пучка рассеяния и большим предметным столиком, Elli-RSc

Особенности: - Простота работы и быстрое измерение - Безконтактное и неразрушающее измерение - Высокая повторяемость - Управление перемещение X-Y-Z - Пользовательские скрипты измерений Структура рефлектометра: - Источник света: Галогеновая лампа мощностью 100 Вт - Система микроскопа: Револьверная голова, адаптер для отражательного зонда - Размер светового пятна: 40 мкм, 20 мкм, 10 мкм - Спектральный диапазон: 380 ~ 1000 нм - Спектрограф: ПЗС детектор - Размер платформы: 100 мм х 100 мм Применение: - Полупроводники Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N4 - Дисплеи (в т.ч. OLED) MgO, ITO, PR, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2, ONO - Диэлектрики SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, водные окислы - Полимеры красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR - Химия органические пленки (OLED) и LB тонкие пленки - Солнечные элементы SiN, a-Si, поли-Si, SiO2, Al2O3 Опции: - Система измерения толщина пленки: Диапазон толщин 1 мкм ~ 300 мкм - Размер светового пучка: 4 мкм - Размеры предметного столика: 200 мм х 200 мм и 300 мм х 300 мм - Система автофокусировки: цветная ПЗС камера - Антивибрационный столик - Трансляционный столик