Печь для выращивания монокристаллов кремния, AE-

Технические характеристики

Основные технические параметры
особенности модель
AE-85 AE-95 AE-120
Диаметр тела печи (mm) 850 950 1200
Диаметр палки кристалла (inch) 6 - 8 8 - 10 8-16
Размер кварцевого тигля (inch) 18-20 22-24 24-28
Максимальное количество добавления материалов (Kg) 95 150 260
Максимальная длина тягового кристалла (mm) 2000 2000 2000
Скорость семенного кристалла（mm/Hr） 0-508 0-508 0-508
Быстрый подъем и тяга семенного кристалла (mm/Min) 0-508 0-508 0-508
Скорость вращения семенного кристалла (rpm) 0-40 0-40 0-40
Следующая скорость тигеля (mm/Hr) 0-128 0-128 0-128
Быстрое движение тигеля (mm/Min) 0-50.8 0-50.8 0-50.8
Скорость вращения тигля (rpm) 0-20 0-20 0-20
Растояние движения тигля (mm) 400 420 480
Максимальный вес для поддержки тигля (Kg) 165 230 450
Скорость откачки основного вакуумного насоса (SL/Sec) 70 70 150
Скорость откачки вспомогательного вакуумного насоса (SL/Sec) 8 8 8
Предельный вакуумный уровень (Pa) ＜4 ＜4 ＜4
Скорость утечки (Pa/Hr) ＜6 ＜6 ＜6
Поток аргона (SL/Min) 4-200 4-200 4-200
Рабочий вакуумный уровень (Pa) 1500-5000 1500-5000 1500-5000
Входная мощность отопления (трехфазный，380V) 140 KW 200 KW 250 KW
Количество нагревателей 1 2 2
Катушки магнитного поля Факультативные Факультативныеl Факультативные

Лицензии и сертификаты

Нет

Доставка и оплата